2022/02/14 by Steinhoff, Lukas
paper · doi:10.48811/phi-21-011
IMPT | Das Institut für Mikroproduktionstechnik (IMPT) arbeitet an einer Prozessfolge zur Abscheidung und Strukturierung eines Aluminiumnitrid-Dünnfilms, welcher aufgrund der piezoelektrischen Eigenschaften sowohl in Sensor- als auch Aktorsystemen Anwendung finden kann.