2022/07/22 by Steinhoff, Lukas
paper · doi:10.48811/phi-22-013
IMPT | Das Institut für Mikroproduktionstechnik (IMPT) arbeitet derzeit an der Entwicklung von batchgefertigten, nachgiebigen Mikroschleifwerkzeugen für die Endbearbeitung von metallischen Oberflächen, zum Beispiel Kupfer- oder Kupferoxidoberflächen.