原子層堆積法による高イオン伝導リチウムリン酸窒化物薄膜の作製

2025/03/14 by 鶴岡 徹
#リチウムリン酸窒化物 #リチウム固体電解質 #原子層堆積法

paper · doi:10.48505/nims.5367

Abstract

⽉刊 ｢⾞載テクノロジー｣

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